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    自動匹配器

    KVMEN?  AM系列數字式自動匹配器,采用目前先進的數字式網絡匹配平臺,利用我們成熟的專業技術力量,AM自動匹配器以快速、精確和可重復的方式,將等離子體的復阻抗與您期望的調諧范圍進行匹配。與傳統模擬調諧方法相比,數字調諧算法和步進電機驅動可產生更快速,更精準和高重復的響應,始終都保持與負載的阻抗點相契合。

    優勢

    功能

    ● 提高生產力、增加產量、降低生產成本
    ● 長期穩定的制程時間保證
    ● 易于安裝和操作
    ● 快速、精確和可重復的阻抗匹配
    ● 最佳的、可直接應用的功能,滿足多種應用領域需求
    ● 多功率和頻率范圍

    性能參數

    AM-1310

    AM-1315

    AM-1320

    頻率

    13.56MHz ±0.005%  27.12MHz\40.68MHz

    最大傳輸功率

    1000w

    1500W

    2000W

    反射功率(最大功率時)

    <3w

    <3w

    <5w

    最大負荷電流

    30ARMS

    30ARMS

    30ARMS

    最大負荷電壓

    7500VRMS

    7500VRMS

    7500VRMS

    傳輸效率

    >90%

    匹配時間

    1~3s

    主電容

    雙真空電容

    可匹配阻抗實部范圍

    0~80Ω

    可匹配阻抗虛部范圍

    -j200~~+j200

    RF輸出連接器

    50 Ω, L29,銅帶輸出,可自定制

    控制接口

    自動手動控制窗口

    冷卻方式

    風冷

    風冷

    風冷+水冷

    供電電壓

    單相交流(187V-253V 頻率50/60HZ

    重量

    7.5KG

    8KG

    尺寸

    430mmDx220mmWx130mmH)或可定制


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